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类别:
设备
产品描述
测量范围(使用1X物镜):
X轴:300毫米;Y轴:200毫米;Z轴:150毫米。
尺寸:767x570x845毫米(不含特殊设定平台)
工作平台尺寸(宽x深):311x269毫米
重量:120公斤(不含特殊设定平台)
图像测量精度:
L(毫米):任意两点之间的距离
E1x,E1y:(2+3L/1000)μm
E1z:(3+5L/1000)μm
E2:(2.5+4L/1000)μm
精度保证条件:
1.5X物镜/总光学放大倍数5.25X
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